微波等离子清洗特点微波等离子清洗与传统湿法清洗相比，不需要使用大量的酸、碱、有机溶剂等，不会给环境带来任何污染，有利于环保和人员安全，同时该清洗技术的均匀性、重复性和可控性非常好，具有三维处理能力，可以进行方向选择。微波等离子清洗与低频或射频放电产生的等离子体相比，它的特点是没有正负电极，自偏压很小，不会产生放电污染，有效防止静电损伤；等离子密度高，生产效率高；离子运动冲击小，不会产生 UV（紫外线）辐射，尤其适用于一些敏感电路的制程清洗。通过微波等离子清洗后，工件表面的污染物明显减少，接触角明显降低，有效改善结合区域的表面浸润性。等离子清洗技术对橡胶的影响分析通过对 橡胶经等离子清洗后的硬度、拉断伸长率、拉伸强度及质量变化率的试验，考核等离子清洗对该材料的影响。介绍了等离子清洗过程及试验过，经试验验证，该材料经等离子清洗后无明显质量变化，为确保航空铝合金口盖密封性提供了技术保障。等离子清洗是在真空状态下利用射频源产生的高压交变电场，将工艺气体震荡成为具有高能量的离子，该能量离子可将工件表面的粒污染物分解，然后随工作气体一并清除，是一种较为彻底的剥离式的干式清洗。航空铝合金口盖硫酸阳极