一、电极对真空等离子设备清洗效果的影响：电极的设计对真空等离子设备清洗效果有很大影响，主要包括电极的材料、布局和尺寸。对于内部电极的等离子体清洗系统，由于电极暴露在等离子体中，一些材料的电极会被一些等离子体腐蚀或溅射，造成不必要的污染并导致电极尺寸的变化，从而影响等离子体清洗系统的稳定性。电极布局对等离子体清洗速度和均均匀性有很大影响。较小的电极间距可以将等离子体限制在狭窄的区域，从而获得更高密度的等离子体并实现更快的清洁。随着间距的增加，清洗速度逐渐降低，但均均匀度逐渐增加。电极的尺寸通常决定等离子体系统的总容量。在电极平行分布的等离子体清洁系统中，电极通常用作托盘。较大的电极可以一次清洁更多的部件，提高设备的运行效率。二、工作压强对真空等离子设备清洗效果的影响：工作压力是真空等离子设备清洗的重要参数之一，压力的增加意味着等离子体密度的增加和粒子能级均能量的减少。对于以化学反应为主的等离子体，密度的增加可以显著提高等离子体系统的清洗速度，而以物理轰击为主的等离子体清洗系统效果不明显。此外，压力的变化可能引起等离子体清洗反应机理的变化。例如，在硅晶片蚀刻工艺中使用的CF4/O2等离子体