等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态，气态3种状态存在，但在一些特殊的情况下可以以第四种状态存在，如太阳表面的物质和地球大气中电离层中的物质。这类物质所处的状态称为等离子体状态，又称为物质的第四态。由于等离子体中的电子、离子和自由基等活性粒子的存在，其本身很容易与固体表

面发生反应等离子体清洗主要是依责等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污清的目的，就反应机理来看，等离子体清洗通堂包括以下过程·无机

气体被激发为等离子态:气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。