等离子清洗的机理主要是活性粒子的物理作用和化学作用，那么在清洗不同的材料时，选择正确的介质气体，可收到事半功倍的效果。材料，可以大致分为金属和非金属两种，其中金属清洗的目的是主要是去除表面氧化物和有机物，非金属清洗主要是去除表面有机污染物，根据反应机理，气体有两种分类，一种是反应性气体（化学作用），主要是氢气、氧气、四氟化碳等；另一类是非反应性气体（物理作用），主要有氩气、氦气、氮气。当所清洗的材料放入反应室内，通过气体放电产生的等离子体中的活性粒子与材料表面就会发生反应。反应性气体以化学反应为主，电离后自由基与表面污染物发生化学反应，生产易挥发物质被排走，达到清洗的目的，氢气主要利用其还原作用，与被清洗件表面污染物发生反应，典型的如金属表面的氧化物清洗，氢气作为放电气体参与反应则发生还原反应，材料表面的氧化物与放电产生的氢离子反应生成水。而氧气主要利用其氧化作用，典型的如清除零件表面的有机物等。氧气作为气体参与反应发生氧化反应，材料表面的有机物被氧气电离产生的氧离子氧化生成二氧化碳和水。非反应性气体电离后主要靠离子的物理轰击作用，去除污染物，有些气体在清洗的同时还可以使材料表面性质发