微波等离子清洗与传统湿法清洗相比,不需要使用大量的酸、碱、有机溶剂等,不会给环境带来任何污染,有利于环保和人员安全,同时该清洗技术的均匀性、重复性和可控性非常好,具有三维处理能力,可以进行方向选择。微波等离子清洗与低频或射频放电产生的等离子体相比,它的特点是没有正负电极,自偏压很小,不会产生放电污染,有效防止静电损伤;等离子密度高,生产效率高;离子运动冲击小,不会产生UV(紫外线)辐射,尤其适用于一些敏感电路的制程清洗。
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