等离子清洗与超声波清洗原理不同。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态， 对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态，等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洗原理是在舱体内接近真空状态时，开启射频电源，这时气体分子电离，产生等离子体，并且伴随辉光放电现象，等离子体在电场下加速，从而在电场作用下高速运动，对物体表面发生物理碰撞，等离子的能量足以去除各种污染物，同时氧离子可以将有机污染物氧化为二氧化碳和水蒸气排出舱体外，等离子清洗不需要其他的溶剂，只要空气就能够满足要求，（善准仪器VP-Q和VP-S系列提供扩展应用，可以接入两路气体，常用的气体氧气、氩气、氮气、氢气等）使用方便而且没有污染。超声波清洗原理主要是通过换能器，将功率超声频源的声能转换成机械振动，通过清洗槽将超声波辐射到槽内的清洗液。由于受到超声波的辐射，使槽内液体中的微气泡能够在声波的作用下从而保持振动，破坏污物与清洗件表面的吸附，引起污物层的疲劳破坏而被驳离，气体型气泡的振动对固体表面进行擦洗。与超声波清洗相比等离子清洗不要放入水中，整个清洗过程在真空腔内，干燥洁净，而且不但可以进行表面清洗，更重要的是可以提高表面活性，等离子体与物体表面进行化学反应能够产生活性化学组团，这些化学组团有很高的活性，从而提高材料表面粘接能力，焊接能力，结合力，亲水性等。