1 不会改变基体固有性能，改性作用仅仅发生在表面，约几到几十个纳米。如半导体纳米蚀刻。2 全程干燥的处理方式（干式法） ，无需溶解剂和水，几乎不产生污染，因而节约能源，降低成本。3 作用时间短，反应速率高，加工对象广，能显著提高产品质量。4 工艺简单、操作方便，生产可控性强，产品一致性好。5 属于健康型工艺，对操作人员身体无伤害。
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