等离子清洗机使用小技巧： 三通阀指向关闭状态（箭头向下），此时一般为抽真空状态下的操作 A、 首先接通电源，等离子清洗机，开动真空泵，看真空泵的旋转方向为顺时针（检测后，关闭电源）； B、在真空泵与等离子清洗机密封连接的前提下，开动真空泵，然后用反应舱盖盖住反应舱，让真空泵转大约5分钟。此时真空泵在抽真空舱体内的空气（此时等离子清洗机处于关机状态）； C、大约五分钟后，等离子舱体就会慢慢产生辉光。

A、 抽空真空舱内的空气 a、放置样本入舱内； b、关闭三通阀（箭头朝下）； c、握住清洗机门靠近真空舱； d、 开启真空泵上的电源开关，等几分钟待抽空舱内空气，清洗机门合上。 B、 抽气 a、打开三通阀与室内空气相通，（lever指向针形阀needle valve）； b、轻轻打开针型阀，让空气进入清洗机舱内。(needle valve要先关闭)。 C、 形成等离子