清洗主要是化学反应。利用等离子体中的基酶氧自由基和材料表面的有机化合物进行化学反应，也称为PE。二氧化碳用于清洗，使非挥发性有机化合物挥发，导致二氧化碳、一氧化碳和水。有机化学清洗的权益是清洗速度快，选择性好，有效清洗有机化学空气污染物。主要缺陷是转化为的金属氧化物很可能在材料表面再次产生。在引线键合处理过程中，金属氧化物是**不期待的，可以根据适当的选择来避免。清洁主要是物理反应。利用等离子体中的正离子进行纯物理冲击，去除附着在材料表面的分子，也称为磁控溅蚀（SPE）。氩用于清洗，氩正离子具有足够的动能负电子设备表面，足以去除所有灰尘。聚合物中的生物大分子离子键分离成小分子水并气化，并根据机械泵排出。氩气等离子体一起清洗后，可以修改材料表面的外部经济外观，使材料在分子结构水平范围内变得越来越粗糙，可以大大提高表面特异性和前进表面的附着力。氩气低温等离子体的权益是，整理材料表面不容易留下所有的金属氧化物。缺点是，过度腐蚀或空气污染物颗粒物可能会在其他意想不到的地区重新积累，但该缺陷可以根据细化处理过程的主要参数进行操作。清洗物理化学反应。物理反应和化学反应在清洁中起着关键作用。如果在线
