首先，用无水乙醇（通常称为酒精）擦拭真空腔（不要用乙醇擦拭反应腔观察玻璃）。其次，空腔进口气体（氩+氧或氮+氧），用等离子体反应去除空腔内的残留物。处理时间约为10分钟，每月至少处理一次。3.检查输气管道的完整性和真空密封性，定期检查真空系统的完整性，彻底清洁反应室后，避免腔内污染物泄漏。定期检查反应腔门的密封条是否松动。检查输气管道路线是否连接紧固，是否老化。4.检查电源连接，电压是否与设备匹配。以上资讯是关于真空等离子清洗机的应用以及维护方法，希望大家喜欢，多谢一直以来的支持和阅读！
2024-05-19
首先，用无水乙醇（通常称为酒精）擦拭真空腔（不要用乙醇擦拭反应腔观察玻璃）。其次，空腔进口气体（氩+氧或氮+氧），用等离子体反应去除空腔内的残留物。处理时间约为10分钟，每月至少处理一次。3.检查输气管道的完整性和真空密封性，定期检查真空系统的完整性，彻底清洁反应室后，避免腔内污染物泄漏。定期检查反应腔门的密封条是否松动。检查输气管道路线是否连接紧固，是否老化。4.检查电源连接，电压是否与设备匹配。以上资讯是关于真空等离子清洗机的应用以及维护方法，希望大家喜欢，多谢一直以来的支持和阅读！
