等离子清洗的特点和优势与湿法清洗相比，等离子清洗的优势表现在以下8个方面：1、在经过等离子清洗以后，被清洗物体已经很干燥，不必再经干燥处理即可送往下道工序。2、不使用ODS有害溶剂，清洗后也不会产生有害污染物，属于有利于环保的绿色清洗方法。3、用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同，它的方向性不强，因此它可以深入物体的微细孔眼和凹陷的内部并完成清洗任务，所以不必过多考虑被清洗物体形状的影响，而且对这些难清洗部位的清洗效果与用氟里昂清洗的效果相似甚至更好。4、整个清洗工艺流程在几分钟即可完成，因此具有效率高的特点。
