2、等离子清洗机选用非反应性气体的作用机理
等离子清洗机使用的工艺气体如Ar，He，H2等是非反应性气体。这些气体原子不直接进入到高分子材料表面的大分子链
中，但由于这些非反应性气体等离子中的高能粒子对材料表面的轰击，进行能量传递，产生大量的自由基，借助于这些自由基
在材料表面形成双键和交联的结构，所以非反应性气体等离子体在材料表面形成薄薄的致密的交联层，不仅改变了材料表面的
自由能，而且还可以减少高分子内部低分子物质（增塑剂、抗氧剂等）的渗出。氢等离子体放电
当选用惰性气体进行等离子表面处理时，如果被处理的高分子材料本身含有氧，则会因大分子断裂分解而形成大分子碎片
进入等离子体内，向等离子体系统提供了氧，也将产生氧等离子体的效果。如果材料本身不含氧，用惰性等离子体处理之后新
生的自由基（半衰期可达2~3天）和空气中的氧作用也会导致氧结合到大分子链上，所以惰性气体等离子体处理含氧的高分子材
料时，将出现交联刻蚀，引入极性基团三者的竞争反应，对于不含氧的高分子材料，只是处理后与空气中的氧作用而引进含氧
基团。
