微波等离子清洗机是一款表面处理设备，能够处理各类污染物，主要应用在集成电路、半导体等行业；微波等离子清洗工艺是一种干式精密清洗技术，能够对微孔、狭缝等细小的空间进行处理，解决这类部位的表面处理难题。一、微波等离子清洗机原理微波是因为电源频率，分别是直流、低频40KHz、射频13.56MHz及本文介绍的微波2.45GHz。利用微波源振荡产生的高频交变电磁场将氧、氩、氢等工艺气体电离，生成等离子体，活性等离子体对被清洗物进行表面处理，达到表面清洁活化的目的。二、微波等离子清洗机优势1、等离子体清洗对器件无损伤，减少原料消耗；2、设备成本低，可以自动化进行处理，降低成本；3、可定制化，能够针对自己产品进行定制，以达到好的处理效果；4、一致性强，整个工艺完善后可以确保每个批次处理效果稳定；5、处理范围广，不用纠结产品外形，能够多方位，多方向的进行处理；微波等离子清洗机作为等离子清洗工艺中一环，目前应用上不如直流、中频、射频等类型广泛，但是这类设备也有独特的优势，在未来的市场大有可为。