真空等离子清洗机常用的维护方法有哪些？

顾名思义，真空等离子体清洗机是在真空腔中清洗的，需要空气，不仅效果全面，而且工艺可控。所选气体不同，各种复杂工艺在真空腔内**控制。通常有多种气体可供选择。常用的有氢、氧、氩等。每种气体的性质不同，效果也不同。

众所周知，真空腔和电极板是处理工件的工作区域。使用一段时间后，腔内会残留一些污垢，附着在电极板和腔壁上。

真空等离子体清洗机的具体维护事项：

1.定期检查真空泵油，每月定期检查真空泵油位和油纯度，观察油位窗，油位接近**红线刻度，添加到红线之间；观察油的颜色，正常油干净透明，当油浑浊（油颜色为灰棕色或油位窗模糊）。如果真空泵噪音异常，请及时更换真空油。