微波等离子清洗的原理等离子体等离子体是物质常见的固态、液态、气态以外的第四态，主要由电子、正离子、自由基、光子以及其他中性粒子组成，其正负电荷总是相等的，所以称为等离子体。微波等离子发生原理微波等离子是由工作频率为2.45GHz的微波激发工艺气体放电,在正负极磁场作用下的谐振腔体内产生等离子体，该谐振腔体位于反应仓体旁边，磁控管连接微波发生器，因为整个放电过程不需要正负电极，所以产生自偏压极小，从根本上避免了静电放电损伤。微波等离子清洗原理常用等离子体电源激发频率有3种：激发频率40kHz的等离子体为超声等离子，发生反应为物理反应；13.56MHz等离子体为射频等离子体，发生反应为物理和化学反应；频率达到2.45GHz的等离子体为微波等离子体，离子浓度**高，发生反应为化学反应，典型的工艺是氧气或氢气等离子体工艺。用氧等离子通过化学反应，能够使非挥发性有机物变成易挥发性的CO2和水蒸气，去除沾污物，使表面清洁；用氢等离子可通过化学反应去除金属表面氧化层，清洁金属表面。