真空等离子设备原理就是对材料的表面产生刻蚀的物理作用。真空等离子设备就是利用等离子体来实现普通清洗方法所无法达到的清洗效果，这种清洗方式不会对清洗对象表面产生任何伤害，由于真空等离子设备是在真空中进行清洗，因此不会对环境造成任何的污染。真空等离子设备主要由三大结构组成：
控制单元：真空等离子设备主要由全自动控制、半自动控制、PC控制、液晶触摸屏控制四种控制单元，而控制单元主要由电源、控制系统、控制按钮和操作显示器等部分组成。
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