等离子设备可以分成低压等离子系统和常压等离子系统,那么低压等离子技术和常
压等离子技术直接有哪些区别呢?
低压等离子技术
对于低压等离子技术,气体在真空中通过获取能单从而被激发, 等离子由高能离
子,高能电子以及其它反应粒子组成。由此,等离子材料表面可以被有效的改变。
其效应可以分为以下三类:
微砂喷射:材料表面通过离子轰击被消减
化学反应:材料表面与离子化的气体产生化学反应
紫外线放射:紫外射线将长链破化合物分解
通过改变工艺参数,如:压力,发生器功率,工艺时间,气体流量和气体组成,可
以获得不同的等离子效果,如此便可在一道工序内完成多种工艺效果,