下面我们就一起来了解下等离子清洗机清洗的缺点:
-方面 ,当各种活性粒子与被清洗物体表面彼此碰触时,各种活性粒子与物体表面杂质污物会发生化学反
应,形成易挥发性的气体等物质,随后易挥发性的物质会被真空泵吸走。例如,活性氧等离子体与材料表面
的有机物发生氧化反应。它的优点是清洗过程相对较快、选择性相对好以及清除污染物的效果非常好,缺点
是产品外表面发生氧化产生氧化物,附着在产品表面。
另-方面，各种活性粒子会轰击清洗材料表面,使得材料表面的沾污杂质会随气流被真空泵吸走。这种清洗
式本身不存在化学反应,在被清洁材料表面没有留下任何氧化物,因此可以很好地保全被清洗物的纯净
性,保障材料的各向异性。缺点是它会对材料表面造成很大损伤和侵蚀,在材料表面发生很大的反应热，
对被清洗表面的杂质污物选择性差。例如,用活性氩等离子体清洗物件表面微粒污染物,活性氩等离子体轰
击被清洗件表面后产生的挥发性污染物会被真空泵排出。
