在线等离子清洗设备作为一种精密干洗设备，能够有效去除污染物，改善材料表面性能，具有自动化程度高、清洗效率高、设备清洁度高、适用范围广等优点。 在线等离子清洗设备是在成熟的等离子清洗技术和设备制造的基础上，增加自动装卸功能、物料转移功能等功能。重点是ic封装中引线框的前处理清洗、涂胶封装、芯片键合、塑封。 现在国内制造商**生产航空电气连接器正在逐步推广使用等离子清洗技术清洗表面的连接器,等离子清洗后,不仅消除表面油,而且还提高表面活性,因此连接器上的胶水非常简单,非常均匀,粘结效果明显改善。 一般在光刻胶涂覆和光刻显影后，通过物理溅射和化学作用去除不必要的金属，目的是形成与光刻胶图形相同的电路图形。等离子刻蚀机是干法刻蚀的主流，因为它具有良好的刻蚀速度和方向目前已逐渐取代湿法蚀刻。对于IC芯片封装，真空等离子体刻蚀工艺既能刻蚀表面的光刻胶，又能防止硅衬底的刻蚀损伤，以满足多种加工工艺的要求。 它的范围也很广，包括汽车制造、手机制造、印刷造纸、包装、电子电路、医疗等行业。以下是常压等离子清洗机技术参数的参考。
