微波等离子体
常见的产生等离子的方式分为三种:(1)大气等离子体;(2)射频等离子体;(3)微波等离子体。这是根据产生等离子
体的发生频率来分,大气等离子体为40kHz ,射频等离子体为13.56MHz ,微波等离子体为2.45GHz。微
波等离子是由工作频率为2.45GHz的微波激发工艺气体放电,在正负极磁场作用下的谐振腔体内产生等离子
体,该谐振腔体位于反应仓体旁边,磁控管连接微波发生器,因为整个放电过程不需要负电极,所以产生
自偏压极小,从根本上避免了静电放电损伤。苏州等离子表面处理-苏州等离子清洗哪家好 “苏州捷纳特精密科技有限公司”是苏州新加坡工业园区的一家致力于等离子应用设备的研发、生产、推广以及销售的高新技术企业。25年专注于等离子技术的开发与应用。 从美国到中国，捷纳特公司一直秉承“生产高质量、安全、耐用、稳定产品”的理念，期盼与广大生产企业开展合作，以便更好将美国专业技术服务于国内等离子表面处理领域。
