超低温等离子清洗机在进行清洗时，工作气体往往用氧气，它被加速了的电子轰击成氧离子、自由基后，氧化性较强。工件表面的污物，如油脂、助焊剂、感光膜、脱膜剂、冲床油等，很快就会被氧化成二氧化碳和水，被真空泵抽走，从而达到清洁表面,改善浸润性和粘结性的目的。超低温微波等离子清洗机的处理仅涉及材料的浅表面( 超低温等离子清洗机的工艺原理为很多乙烯基单体，如乙烯、苯乙烯等在等离子体条件下，不要其他任何催化剂和引发剂而在工件表面实现聚合，甚至甲烷，乙烷，苯这些在常规聚合条件下不能聚合的物质，都可以在等离子体条件下在工件表面实现交联聚合。
