工作气体的选择对真空等离子设备清洗效果的影响：
工艺气体的选择是真空等离子设备清洗工艺设计的关键步骤。虽然大多数气体或气体混合物在许多情况下可以去除污染物，但是清洁速度可以相差几倍甚至几十倍。例如，将不同比例的氟化硫(SF6)添加到氧气(O2)中作为工艺气体来清洁有机玻璃。
2024-05-01
工作气体的选择对真空等离子设备清洗效果的影响：
工艺气体的选择是真空等离子设备清洗工艺设计的关键步骤。虽然大多数气体或气体混合物在许多情况下可以去除污染物，但是清洁速度可以相差几倍甚至几十倍。例如，将不同比例的氟化硫(SF6)添加到氧气(O2)中作为工艺气体来清洁有机玻璃。
