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公司动态

微波等离子清洗是一种高精密干法清洗方式

2024-05-20

 

微波等离子清洗作为一种绿色无污染的高精密干法清洗方式, 可以有效去除表面污染物,避免静电损伤。 简述了微波等离子清洗的原理及特点,介绍了设备的构成、清洗工艺和模式,对微波导入和微波源与负载的匹配两个关键技术进行了研究;通过工艺验证,微波等离子清洗降低了接触角度,提高了引线键合强度

微波等离子清洗与传统湿法清洗相比,不需要使用大量的酸、碱、有机溶剂等,不会给环境带来任何污染,有利于环保和人员安全,同时该清洗技术的均匀性、重复性和可控性非常好,具有三维处理能力,可以进行方向选择。微波等离子清洗与低频或射频放电产生的等离子体相比,它的特点是没有正负电极,自偏压很小,不会产生放电污染,有效防止静电损伤;等离子密度高,生产效率高;离子运动冲击小,不会产生 UV(紫外线)辐射,尤其适用于一些敏感电路的制程清洗。

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