微波等离子清洗工艺流程及其工艺参数决定着清洗质量，工艺流程包括抽真空、充放工艺气体、辉光放电、净化和平衡，工艺参数包括放电功率、气体种类、气体流量和辉光放电时间，不同的工艺参数设置直接影响微波等离子体清洗效果，因此针对不同的清洗对象和制程要求应该设置适当的工艺参数以便进行清洗。
2024-05-12
微波等离子清洗工艺流程及其工艺参数决定着清洗质量，工艺流程包括抽真空、充放工艺气体、辉光放电、净化和平衡，工艺参数包括放电功率、气体种类、气体流量和辉光放电时间，不同的工艺参数设置直接影响微波等离子体清洗效果，因此针对不同的清洗对象和制程要求应该设置适当的工艺参数以便进行清洗。
