微波等离子清洗原理及特点
等离子体是物质存在的一种基本形态（被称为物质的第四态），是由原子，电子，分子，离子或自由基组合而成，等离子清洗就是通过物理、化学作用对被清洗物表面进行处理，实现去除分子水平污染物的一种工艺过程，同时也可提高其表面活性。
1.1微波等离子发生原理
微波等离子是由工作频率为2.45GHz的微波激发工艺气体放电,在正负极磁场作用下的谐振腔体内产生等离子体，该谐振腔体位于反应仓体旁边，磁控管连接微波发生器，因为整个放电过程不需要正负电极，所以产生自偏压极小，从根本上避免了静电放电损伤。等离子体激发频率和自偏压的关系如图1所示。
