真空腔体：真空腔体就是用于清洗对象物的空间，主要有石英腔体和不锈钢真空腔体。由于其内部采用真空灭菌防菌以及等离子清洗法，对于腔体压力的承受有着一定的要求，所以需要采用材质较好的腔体进行配置。
真空泵：真空等离子设备的主要动力来源就是真空泵，主要作用是将真空腔体中的空气抽干，从而达到真空的环境，然后再进行等离子清洗。真空等离子设备的真空泵主要分为干泵和油泵。干泵主要以电力为动力源，而油泵则使用汽油或柴油为动力源。
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