微波等离子清洗技术具有优越的环境特性和去污能力，但传统产生等离子体的不足限制了等离子清洗技术在工业中的应用，使用微波产生等离子可以避免清洗中产生的静电损伤，从而为扩展等离子技术在工业中的应用提供可能。微波等离子体常见的产生等离子的方式分为三种:(1)大气等离子体;(2)射频等离子体;(3)微波等离子环境特性和去污能力，但传统产生等离子体的不足限制了等离子清洗技术在工业中的应用，使用微波产生等离子可以避免清洗中产生的静电损伤，从而为扩展等离子技术在工业中的应用提供可能。微波等离子体常见的产生等离子的方式分为三种:(1)大气等离子体;(2)射频等离子体;(3)微波等离子体。这是根据产生等离子体的发生频率来分，大气等离子体为40kHz，射频等离子体为13．56MHz，微波等离子体为2．45GHz。微波等离子是由工作频率为2.45GHz的微波激发工艺气体放电,在正负极磁场作用下的谐振腔体内产生等离子体，该谐振腔体位于反应仓体旁边，磁控管连接微波发生器，因为整个放电过程不需要正负电极，所以产生自偏压极小，从根本上避免了静电放电损伤。微波等离子产生原理微波频率相对于其他频率有两个决定性优势，其一是
